一种基于数据驱动控制的压电微定位平台轨迹跟踪控制方法，属于微纳控制技术领域。本发明的目的是采用紧格式动态线性化方法对建立的非线性模型进行转化为基于输入输出数据增量形式的数据模型，并通过最小化压电微定位平台系统误差和控制量变化率准则函数求取控制率的基于数据驱动控制的压电微定位平台轨迹跟踪控制方法。本发明步骤是：设计基于数据驱动控制的压电微定位平台轨迹跟踪控制器，在不依赖压电微定位平台系统物理参数和数学模型的情况下，引入改进投影算法和神经网络分别估算和预测基于实际输入输出数据的控制器参数。本发明解决了现有基于模型的控制器性能对模型结构和建模精度的依赖，仅基于系统输入输出数据实现压电微定位平台系统高精度轨迹跟踪控制。