基于溶胶-凝胶法和电射流沉积法的复合型PZT压电膜的制备...
授权
摘要
本发明属于微机电系统技术领域，提供了基于溶胶‑凝胶法和电射流沉积法的复合型PZT压电膜的制备方法。本发明制备的复合型PZT压电膜膜厚可达几至上百微米，且与传统单一电射流沉积法制备的PZT压电膜相比，复合型PZT压电膜微孔隙缺陷减少，晶体择优取向度提高，与上下电极结合条件良好，压电性和铁电性等性能有明显提升。
基本信息
专利标题 ：
基于溶胶-凝胶法和电射流沉积法的复合型PZT压电膜的制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111725385A
申请号 ：
CN202010547450.8
公开（公告）日 ：
2020-09-29
申请日 ：
2020-06-16
授权号 ：
CN111725385B
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
崔岩李嘉豪于舜尧王大志高志东
申请人 ：
大连理工大学
申请人地址 ：
辽宁省大连市甘井子区凌工路2号
代理机构 ：
大连理工大学专利中心
代理人 ：
温福雪
优先权 ：
CN202010547450.8
主分类号 ：
H01L41/314
IPC分类号 ：
H01L41/314 H01L41/318 C23C18/12 B81B7/04 B81C1/00
相关图片
法律状态
2022-04-12 ：
授权
2020-10-27 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 41/314
申请日 : 20200616
申请日 : 20200616
2020-09-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN111725385A.PDF
PDF下载
