一种超精密飞切加工机床面形误差补偿及控制方法
授权
摘要
一种超精密飞切加工机床面形误差补偿及控制方法，解决了现有超精密飞切加工机床存在的面形误差大，特别是中频误差较为突出等问题。根据飞切机床主轴角度编码器实时测得的角度信号以及刀具‑工件相对振动对飞切加工表面波纹度误差的形成规律，将实时所测振动信号反相输入，通过调控压电驱动纳米进给补偿平台的位置和姿态，实现对超精密飞切机床加工面形波纹度误差抑制。
基本信息
专利标题 ：
一种超精密飞切加工机床面形误差补偿及控制方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111823418A
申请号 ：
CN202010604864.X
公开（公告）日 ：
2020-10-27
申请日 ：
2020-06-29
授权号 ：
CN111823418B
授权日 ：
2022-05-06
发明人 ：
魏巍李加胜阳红黄明徐斯强刘品宽
申请人 ：
中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
申请人地址 ：
四川省绵阳市绵山路64号
代理机构 ：
成都行之专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
胡晓丽
优先权 ：
CN202010604864.X
主分类号 ：
B28D5/00
IPC分类号 ：
B28D5/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B28
加工水泥、黏土或石料
B28D
加工石头或类似石头的材料
B28D5/00
宝石、宝石饰物、结晶体的精细加工，例如半导体材料的精加工；所用设备
法律状态
2022-05-06 ：
授权
2020-11-13 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B28D 5/00
申请日 : 20200629
申请日 : 20200629
2020-10-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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