基于纳米压电梁的谐振式加速度传感器及其制备方法

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摘要

本发明本发明属于微电子机械技术领域，具体涉及基于纳米压电梁的谐振式加速度传感器及其制备方法。包括基底、检测结构层和盖板；检测结构层以方形双抛硅片为基础制成，包括方形外框和位于外框中心的方形敏感质量块，敏感质量块x轴方向的两侧分别通过支撑梁和对应的外框内侧壁连接，敏感质量块的y轴方向的两侧分别通过双端音叉谐振器和对应的外框内侧壁接触，每个双端音叉谐振器包括一对氧化锌谐振梁；检测结构层的顶面和盖板的底面、检测结构层的底面和基底的顶面均通过键槽连接，使得基底、检测结构层和盖板形成内部封闭的加速度传感器。本发明加速度传感器的结构灵敏度高，实现抗过载能力强、谐振频率高、灵敏度高的指标。

基本信息

专利标题：

基于纳米压电梁的谐振式加速度传感器及其制备方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN111796119A

申请号：

CN202010699338.6

公开（公告）日：

2020-10-20

申请日：

2020-07-20

授权号：

CN111796119B

授权日：

2022-05-17

发明人：

许高斌王亚洲马渊明陈兴张文晋于永强陈士荣

申请人：

合肥工业大学

申请人地址：

安徽省合肥市包河区屯溪路193号

代理机构：

合肥金安专利事务所(普通合伙企业)

代理人：

徐伟

优先权：

CN202010699338.6

主分类号：

G01P15/097

IPC分类号：

G01P15/097