一种非对称梁谐振式微机械加速度传感器、电子装置
授权
摘要
本实用新型涉及微机械传感器技术领域，一个方面，提供了一种非对称梁谐振式微机械加速度传感器，包括多件谐振敏感芯片；所述谐振敏感芯片的惯性不同；所述第一盖板和第二盖板与对应的谐振敏感芯片之间均形成检测电容，相邻两件谐振敏感芯片之间形成静电弱耦合电容。另一个方面，提供了一种电子装置，包括上述的非对称梁谐振式微机械加速度传感器，及控制单元；所述控制单元分为驱动谐振敏感芯片振动的驱动单元，和检测谐振敏感芯片振动参数的检测单元。应用本实用新型的技术方案，可提高基于弱耦合谐振原理以检测加速度的灵敏度；在工作中，可控制谐振敏感芯片的耦合强度，方便根据实际需求调节灵敏度参数，同时提高温度适应性。
基本信息
专利标题 ：
一种非对称梁谐振式微机械加速度传感器、电子装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022359356.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-21
授权号 ：
CN213364813U
授权日 ：
2021-06-04
发明人 ：
刘猛唐彬王超赵剑
申请人 ：
中国工程物理研究院电子工程研究所
申请人地址 ：
四川省绵阳市游仙区绵山路64号
代理机构 ：
成都智弘知识产权代理有限公司
代理人 ：
丁亮
优先权 ：
CN202022359356.8
主分类号 ：
G01P15/097
IPC分类号 ：
G01P15/097 G01P15/125
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T）
G01P15/00
测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变
G01P15/02
利用惯性力
G01P15/08
用变换成电或磁量
G01P15/097
采用振动元件
法律状态
2021-06-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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