微粒移除工具及方法
授权
摘要
一种微粒移除工具包括工件固持器及光学镊子(tweezer)。所述工件固持器被配置成支撑工件。所述光学镊子被配置成向所述工件发射多个聚焦光束，其中所述多个聚焦光束分别会聚到所述光学镊子与所述工件之间的多个焦点，且被配置成从所述工件带走微粒。
基本信息
专利标题 ：
微粒移除工具及方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112296023A
申请号 ：
CN202010737135.1
公开（公告）日 ：
2021-02-02
申请日 ：
2020-07-28
授权号 ：
CN112296023B
授权日 ：
2022-04-08
发明人 ：
曾裕廉
申请人 ：
台湾积体电路制造股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾新竹科学工业园区新竹市力行六路八号
代理机构 ：
南京正联知识产权代理有限公司
代理人 ：
王素琴
优先权 ：
CN202010737135.1
主分类号 ：
B08B7/00
IPC分类号 ：
B08B7/00 B08B13/00 H01L21/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B7/00
不包含在其他小类或本小类的其他组中的清洁方法
法律状态
2022-04-08 ：
授权
2021-02-23 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B08B 7/00
申请日 : 20200728
申请日 : 20200728
2021-02-02 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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