平面度测量方法、装置、电子设备及存储介质

授权

摘要

本发明公开了一种平面度测量方法、装置、电子设备及存储介质，其中平面度测量方法包括；获取原始平面度数据，对所述原始平面度数据进行处理，得到目标数组；获取所述目标数组中每个数据对应的目标位置信息；对所述目标位置信息计算目标矫正矩阵，得到目标矫正值；根据所述目标矫正值计算得到平面度。通过上述平面度测量方法，能够在无需借助其它基准面的情况下实现自动化检测平面度，且测量精度高。

基本信息

专利标题：

平面度测量方法、装置、电子设备及存储介质

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN111947607A

申请号：

CN202010755391.3

公开（公告）日：

2020-11-17

申请日：

2020-07-31

授权号：

CN111947607B

授权日：

2022-06-14

发明人：

刘春燕杨延竹柳俊先彭明于波张华尹程斌

申请人：

深圳市格灵人工智能与机器人研究院有限公司;深圳市格灵人工智能与机器人研究院

申请人地址：

广东省深圳市南山区粤海街道海德三道168号航天科技广场B座1902室

代理机构：

广州嘉权专利商标事务所有限公司

代理人：

黄广龙

优先权：

CN202010755391.3

主分类号：

G01B11/30

IPC分类号：

G01B11/30