一种基于飞秒激光大幅面微纳制造的双光束干涉系统

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摘要

一种基于飞秒激光大幅面微纳制造的双光束干涉系统，包括防震平台上连接的飞秒激光器以及冷却发生装置、激光扩束系统、准直校正系统、激光光场初始化调制系统、激光光束整形系统以及飞秒激光双光束干涉光学系统；在飞秒激光双光束干涉光学系统正下方设置有可控四位点高精度移动平台，可控四位点高精度移动平台与准直校正系统通过工控机集成控制系统控制；飞秒激光器以及冷却发生装置发出的激光依次经过激光扩束系统、准直校正系统、激光光场初始化调制系统、激光光束整形系统以及飞秒激光双光束干涉光学系统对可控四位点高精度移动平台上的基底进行加工；本发明高效率、高质量地制备大面积周期性微纳结构，提高表面结构的均一性以及周期性可控度。

基本信息

专利标题：

一种基于飞秒激光大幅面微纳制造的双光束干涉系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN112108759A

申请号：

CN202010919419.2

公开（公告）日：

2020-12-22

申请日：

2020-09-04

授权号：

CN112108759B

授权日：

2022-05-06

发明人：

王文君陈玉虎梅雪松崔健磊张祎霖李国基

申请人：

西安交通大学

申请人地址：

陕西省西安市碑林区咸宁西路28号

代理机构：

西安智大知识产权代理事务所

代理人：

贺建斌

优先权：

CN202010919419.2

主分类号：

B23K26/064

IPC分类号：

B23K26/064 B23K26/14 B23K26/70