光斑轮廓的检测方法
实质审查的生效
摘要

本发明提供一种光斑轮廓的检测方法,包括光源产生目标光斑并投射在图像传感器的视场范围内,运动台载动所述图像传感器按一设定路线进行步进,并在每一步进位置进行图像采集,然后对采集的图像进行补偿整合。本发明通过运动台载动图像传感器进行图像采集,通过补偿整合形成高分辨率图像,间接提高了图像传感器的分辨率,实现光斑轮廓的高精度检测。进一步的,本发明提供的光斑轮廓的检测方法在现有光斑轮廓的检测系统的基础上实现光斑轮廓的检测,不需要增加额外硬件,节约了检测成本。

基本信息
专利标题 :
光斑轮廓的检测方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114322839A
申请号 :
CN202011043521.7
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2020-09-28
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
唐江锋赵丽丽
申请人 :
上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请人地址 :
上海市浦东新区张东路1525号
代理机构 :
上海思捷知识产权代理有限公司
代理人 :
王宏婧
优先权 :
CN202011043521.7
主分类号 :
G01B11/25
IPC分类号 :
G01B11/25  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
G01B11/25
通过在物体上投影一个图形,例如莫尔条纹
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/25
申请日 : 20200928
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332