本申请提供一种晶圆样品分析方法和装置。该方法应用于二次离子质谱仪，包括：提供晶圆样品，所述晶圆样品至少包括一斜面，所述斜面用于在同一面上暴露衬底、第一保护层和第一掺杂层，其中所述第一保护层形成在所述衬底上，所述第一掺杂层形成在所述第一保护层上；获取所述斜面的斜面图像并分析所述斜面图像，得到所述斜面图像内所述晶圆样品中元素的掺杂深度和掺杂浓度。本申请提供的晶圆样品分析方法和装置解决了现有的分析晶圆中元素的方法存在的分析结果不准确的问题。