在有机胶层上形成含银金属层的方法
实质审查的生效
摘要
一种在有机胶层上形成含银金属层的方法。该方法包括：在基板上提供有机胶层；以及在含氧环境下将含银金属作为靶材执行溅射工艺，以在所述有机胶层上形成含银金属层。在含氧环境下将所述含银金属作为靶材执行溅射工艺包括：在整个所述溅射工艺中持续通入氧气并且控制所述氧气的流量，使得所述有机胶层表面的有机物杂质与氧元素发生反应并从所述有机胶层表面脱离。本公开提供的方法可提高有机胶层的表面能，从而在几乎不影响溅射率的情况下有效改善有机胶层与含银金属层之间的附着力。
基本信息
专利标题 ：
在有机胶层上形成含银金属层的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114318230A
申请号 ：
CN202011064144.5
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2020-09-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
毛传银
申请人 ：
镭亚电子（苏州）有限公司;镭亚股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市常熟高新技术产业开发区金门路2号
代理机构 ：
北京市柳沈律师事务所
代理人 ：
于小宁
优先权 ：
CN202011064144.5
主分类号 ：
C23C14/14
IPC分类号 ：
C23C14/14 C23C14/34 H01L21/02
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/06
以镀层材料为特征的
C23C14/14
金属材料、硼或硅
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/14
申请日 : 20200930
申请日 : 20200930
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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