本发明涉及一种用于薄膜热电材料性能参数测试装置、方法及系统，用于解决传统热电性能参数测试方法操作复杂、测试速度慢、测试精确度低、并难以满足大量薄膜热电材料性能参数的快速简易测试的问题。本发明测试装置包括：自下而上设置的基础温度控制单元和温度差控制单元；基础温度控制单元用于控制待测样品所处的基础温度；温度差控制单元用于控制待测样品两端的温度差；温度差控制单元包括待测样品承载部，待测样品承载部用于承载待测样品。本发明提供的技术方案能够简便、快速、精确地测试薄膜热电材料热电性能参数且能够自动处理的薄膜热电材料热电性能参数。