一种梯度磁场检测芯片及磁场检测结构
实质审查的生效
摘要
本发明实施例公开了一种梯度磁场检测芯片及磁场检测结构,该梯度磁场检测芯片包括晶圆基板;至少一个探测阵列,探测阵列包含三个磁阻群,该三个磁阻群的几何中心位于同一直线上且间距相同,磁阻群包含n行磁阻段且每行包含m个线性等距排列的磁阻单元,磁阻群中各磁阻段呈层错排列,且各磁阻段的层错位移长度为y*c/n,m*n=35,c为0至n‑1,y为磁阻单元间距;磁阻单元的灵敏度方向均平行于晶圆基板的平面且均平行于探测阵列的延伸方向,或,磁阻单元的灵敏度方向均垂直于晶圆基板的平面;探测阵列的输出信号采用梯度差分方式输出;多个引线焊盘,引线焊盘与磁阻群通过连接引线连接。本发明实现了高频率响应和高精度梯度测量。
基本信息
专利标题 :
一种梯度磁场检测芯片及磁场检测结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114371430A
申请号 :
CN202011103655.3
公开(公告)日 :
2022-04-19
申请日 :
2020-10-15
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
祁彬薛松生
申请人 :
江苏多维科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市张家港市保税区广东路7号E栋
代理机构 :
北京品源专利代理有限公司
代理人 :
孟金喆
优先权 :
CN202011103655.3
主分类号 :
G01R33/022
IPC分类号 :
G01R33/022 G01R33/09
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R33/00
测量磁变量的装置或仪器
G01R33/02
测量磁场或磁通量的方向或大小
G01R33/022
测量梯度
法律状态
2022-05-27 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 33/022
申请日 : 20201015
申请日 : 20201015
2022-04-19 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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