基于NV色心的芯片磁场检测方法及装置
授权
摘要
本发明公开了一种基于NV色心的芯片磁场检测方法及装置，该方法包括：为被测芯片施加电压，以使所述被测芯片处于工作状态，其中，所述被测芯片的一侧设置有金刚石NV色心探头；通过所述金刚石NV色心探头对所述被测芯片执行多个周期的检测，以得到多个磁信号图，其中，每个检测周期向所述金刚石NV色心探头施加不同微波共振频率的微波信号；根据所述多个磁信号图，得到所述被测芯片表面的磁场分布情况。该检测方法在对被测芯片进行磁场检测时，检测效率高，且磁场变化差异的区分度大，可更直观地反映磁场强度细微变化，使得检测精度高，同时不会对芯片造成损伤。
基本信息
专利标题 ：
基于NV色心的芯片磁场检测方法及装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114200362A
申请号 ：
CN202210141249.9
公开（公告）日 ：
2022-03-18
申请日 ：
2022-02-16
授权号 ：
CN114200362B
授权日 ：
2022-05-17
发明人 ：
方源万传奇
申请人 ：
国仪量子（合肥）技术有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期E2楼A区1-4层
代理机构 ：
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
赵静
优先权 ：
CN202210141249.9
主分类号 ：
G01R33/12
IPC分类号 ：
G01R33/12 G01R33/10
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R33/00
测量磁变量的装置或仪器
G01R33/12
测量物品的磁性或者固体或流体样品的磁性
法律状态
2022-05-17 ：
授权
2022-04-05 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 33/12
申请日 : 20220216
申请日 : 20220216
2022-03-18 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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