集成电路的磁场检测方法及缺陷检测方法、装置
授权
摘要
本发明公开了一种集成电路的磁场检测方法及缺陷检测方法、装置，该磁场检测方法包括：确定被测集成电路的微波共振频率；为所述被测集成电路施加电压，以使所述被测集成电路处于工作状态；向金刚石NV色心探头施加微波信号和激光信号，其中，所述微波信号的频率为所述微波共振频率，所述金刚石NV色心探头设置在所述被测集成电路的一侧；获取所述金刚石NV色心探头产生的荧光信号；根据所述荧光信号得到所述被测集成电路在工作状态下的磁场信息。该磁场检测方法在对集成电路进行磁场检测的过程中，检测效率、检测精度高，适用性强。
基本信息
专利标题 ：
集成电路的磁场检测方法及缺陷检测方法、装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114200363A
申请号 ：
CN202210141423.X
公开（公告）日 ：
2022-03-18
申请日 ：
2022-02-16
授权号 ：
CN114200363B
授权日 ：
2022-05-27
发明人 ：
孙峰万传奇
申请人 ：
国仪量子（合肥）技术有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期E2楼A区1-4层
代理机构 ：
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
赵静
优先权 ：
CN202210141423.X
主分类号 ：
G01R33/12
IPC分类号 ：
G01R33/12 G01R33/10 G01R33/032 G01R31/28 G01N27/82
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R33/00
测量磁变量的装置或仪器
G01R33/12
测量物品的磁性或者固体或流体样品的磁性
法律状态
2022-05-27 ：
授权
2022-04-05 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 33/12
申请日 : 20220216
申请日 : 20220216
2022-03-18 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
