一种若干个多芯片/硅转接板组件的倒装焊叠层组装方法
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摘要

本发明一种若干个多芯片/硅转接板组件的倒装焊叠层组装方法,所述方法包括步骤1,在硅转接板的倒装焊区域涂抹助焊剂,或用若干个倒装焊芯片蘸取助焊剂,将芯片焊球分别与硅转接板焊盘对位后贴片;步骤2,将初步形成的组件真空回流焊接,之后清洗进行倒装焊芯片的底部填充及硅转接板背面的植球,重复得若干个多芯片/硅转接板组件;步骤3,在管壳的倒装焊区域涂抹助焊剂,选取靠近中心位置和高度最高的倒装焊芯片表面作为拾取点,分别将组件与管壳对位后贴片;步骤4,将形成的模块真空回流焊接,清洗再进行硅转接板的底部填充,能够显著提高组装效率,提高倒装焊质量,兼容不同厚度、尺寸的倒装焊芯片组装,具有重要的社会效益和经济价值。

基本信息
专利标题 :
一种若干个多芯片/硅转接板组件的倒装焊叠层组装方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112366181A
申请号 :
CN202011174060.7
公开(公告)日 :
2021-02-12
申请日 :
2020-10-28
授权号 :
CN112366181B
授权日 :
2022-04-12
发明人 :
汤姝莉赵国良张健薛亚慧袁海杨宇军郝沄
申请人 :
西安微电子技术研究所
申请人地址 :
陕西省西安市雁塔区太白南路198号
代理机构 :
西安通大专利代理有限责任公司
代理人 :
李鹏威
优先权 :
CN202011174060.7
主分类号 :
H01L21/98
IPC分类号 :
H01L21/98  H01L21/50  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/70
由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L21/98
由在一共用基片内或其上形成的多个固态组元组成的器件的组装;集成电路器件的组装
法律状态
2022-04-12 :
授权
2021-03-05 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/98
申请日 : 20201028
2021-02-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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