热电子发射阴极及其组成的热电子和离子发射装置
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种热电子发射阴极及其组成的热电子和离子发射装置。一种热电子发射阴极，包括：热电子发射基底面；所述热电子发射基底面上分布有多个突起部。本发明提供的阴极具有更大的比表面积，释放热电子的面积更大，可以提高热电子的利用率，延长设备使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
热电子发射阴极及其组成的热电子和离子发射装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114429892A
申请号 ：
CN202011182424.6
公开（公告）日 ：
2022-05-03
申请日 ：
2020-10-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李河圣朴兴雨朱宁炳刘金彪刘青王垚张琦辉李琳
申请人 ：
中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请人地址 ：
北京市朝阳区北土城西路3号
代理机构 ：
北京辰权知识产权代理有限公司
代理人 ：
金铭
优先权 ：
CN202011182424.6
主分类号 ：
H01J37/075
IPC分类号 ：
H01J37/075 H01J37/08 H01J37/317 H01J9/04 H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/04
电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置
H01J37/06
电子源；电子枪
H01J37/075
热发射电子枪，其阴极是用粒子轰击或辐照来加热的，如由激光加热
法律状态
2022-05-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/075
申请日 : 20201029
申请日 : 20201029
2022-05-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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