阴极结构及包含此阴极结构的离子化金属等离子装置
实质审查的生效
摘要
本揭露有关于一种阴极结构及包含此阴极结构的离子化金属等离子装置。阴极结构是适用于等离子装置。此阴极结构包含曲面实心部、固定部及容置部，容置部设置于曲面实心部及固定部之间。曲面实心部包含底表面及顶曲面。顶曲面的周缘完全地连接底表面的周缘。固定部是配置以固定阴极结构于等离子装置上。容置部是配置以容置等离子装置的阴极灯丝，并连接曲面实心部的底表面及固定部。
基本信息
专利标题 ：
阴极结构及包含此阴极结构的离子化金属等离子装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114361003A
申请号 ：
CN202210073822.7
公开（公告）日 ：
2022-04-15
申请日 ：
2017-07-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
江浩宁庄凯富洪祥堡郭俨颉高铭祥庄铭德
申请人 ：
台湾积体电路制造股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾新竹市新竹科学工业园区力行六路八号
代理机构 ：
北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐金国
优先权 ：
CN202210073822.7
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-05-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/32
申请日 : 20170724
申请日 : 20170724
2022-04-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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