本发明公开了一种被测样品的倾角自动调平方法及装置，被测样品表面具有参考标尺，方法包括：在被测样品的被测区域画矩形，使得矩形的对角位于一组相邻的干涉条纹上；根据参考标尺，确定矩形的长度和宽度；根据矩形的长度、宽度和光源的波长，确定被测样品偏移的第一倾斜角度和第二倾斜角度；根据第一倾斜角度和第二倾斜角度，对被测样品进行调平。根据本发明实施例的被测样品的倾角自动调平方法，不仅自动化水平高，而且通过干涉条纹可精确计算出样品倾斜角度，有效保证的精确度和准确度。