一种CVD沉积速率、产物织构和质量跨尺度预测方法
授权
摘要
本发明提供CVD沉积速率、产物织构和质量跨尺度预测方法，S1建立反应器几何模型和划分网格；添加材料属性；S2建立多物理场模型，建立流体传热和层流模型，计算温度场和流场；S3建立化学和多组分物质传递模型，将先驱体气体反应输入模型，计算化学反应和浓度场分布；S4计算沉积表面浓度，与上一次总迭代计算的结果进行对比，满足收敛要求，流程结束；否则将表面浓度结果输入KMC模型进行下一次迭代；S5构建原子结构，确定表面反应；S6计算吸附、扩散速度，确定一步的原子结构与反应时间；S7若原子结构满足要求厚度，则返回S2；否则返回S5继续迭代计算。在本发明的基础上进行沉积工艺参数的优化，得到沉积产物织构可控，质量好的CVD产品。
基本信息
专利标题 ：
一种CVD沉积速率、产物织构和质量跨尺度预测方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112331271A
申请号 ：
CN202011213889.3
公开（公告）日 ：
2021-02-05
申请日 ：
2020-11-04
授权号 ：
CN112331271B
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
关康曾庆丰卢振亚吴建青刘建涛冯志强
申请人 ：
华南理工大学
申请人地址 ：
广东省广州市天河区五山路381号
代理机构 ：
成都方圆聿联专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李鹏
优先权 ：
CN202011213889.3
主分类号 ：
G16C10/00
IPC分类号 ：
G16C10/00 G06F30/23 G06F30/28 C23C16/00 G06F113/08 G06F119/14 G06F111/10
IPC结构图谱
G
G部——物理
G16
特别适用于特定应用领域的信息通信技术
G16C
计算化学;化学信息学; 计算材料科学
G16C10/00
计算理论化学，例如特别适用于量子化学、分子力学、分子动力学等的理论方面的ICT
法律状态
2022-06-14 ：
授权
2021-02-26 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G16C 10/00
申请日 : 20201104
申请日 : 20201104
2021-02-05 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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