一种用于旋转器件型光谱椭偏仪系统的电机光谱仪同步方法
授权
摘要
本发明涉及一种用于旋转器件型光谱椭偏仪系统的电机光谱仪同步方法，首先设置光谱仪积分时间为t以及采集帧数为n*N1,进行光谱采集并保存；从中提取所有周期内所有帧数在波长点λ2的光谱数据，并绘制光谱曲线图，得到包含有N1条光谱曲线的曲线图1，并计算曲线图1中光谱曲线线宽D；所述在波长点λ2的光谱数据的特征为该波长点在不同周期内的变化趋势为上下震动；然后对所述光谱仪积分时间t进行调制，并绘制光谱曲线图，若无论增加或减小积分时间，调制后的光谱曲线图中光谱曲线线宽均大于调制前的光谱曲线线宽D，则光谱仪积分时间t即为最佳积分时间，此时电机与光谱仪同步。
基本信息
专利标题 ：
一种用于旋转器件型光谱椭偏仪系统的电机光谱仪同步方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112345462A
申请号 ：
CN202011232895.3
公开（公告）日 ：
2021-02-09
申请日 ：
2020-11-06
授权号 ：
CN112345462B
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
张传维史玉托李伟奇陈军郭春付
申请人 ：
武汉颐光科技有限公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市东湖新技术开发区汤逊湖北路33号华工科技园·创新基地办公研发楼18栋4层5、6、7室
代理机构 ：
武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
高兰
优先权 ：
CN202011232895.3
主分类号 ：
G01N21/21
IPC分类号 ：
G01N21/21
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/17
入射光根据所测试的材料性质而改变的系统
G01N21/21
影响偏振的性质
法律状态
2022-06-14 ：
授权
2021-03-02 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 21/21
申请日 : 20201106
申请日 : 20201106
2021-02-09 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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