本发明提供了一种椭偏仪光谱浮动模型及建立方法，所述方法包括：建立量测程式，对晶圆进行一次量测，并收集所述晶圆膜层的量测光谱数据；使用OLSA软件，对所述量测光谱数据进行拟合；通过编辑所述晶圆对应膜层的射散模型，增加一个谐振子，并将所述谐振子的初始值改为0；在所述量测程式输出项里面选择所述谐振子。本发明通过添加一个谐振子建立椭偏仪光谱浮动模型，与现有技术相比，采用该模型能够获得比较精确的量测结果，从而明确不同晶圆的同一膜层之间的差异、以及同一晶圆内不同位置处的同一膜层之间的差异，从而准确反应出膜层制作过程的均匀性。