一种半导体检测用可水平调节的椭偏仪
授权
摘要
本实用新型公开了一种半导体检测用可水平调节的椭偏仪,包括底板,所述底板顶部的前侧固定连接有连接座,所述连接座的顶部固定连接有支撑座,所述支撑座的顶部固定连接有承载台,所述底板顶部的两侧分别固定连接有左侧板和右侧板。本实用新型通过伺服电机带动转轴转动,通过转轴带动丝杆转动,丝杆的转动使丝杆母移动,通过丝杆母的移动带动连接板移动,连接板带动导向套在滑柱表面进行滑动,通过导向套的移动带动椭偏仪本体进行移动,达到了可水平调节的优点,解决了现有的椭偏仪在使用时不具备水平调节的功能,往往椭偏仪的位置都是固定的,以至于无法满足不同水平距离的测量,因此不便于人们使用的问题。
基本信息
专利标题 :
一种半导体检测用可水平调节的椭偏仪
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021643109.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-10
授权号 :
CN213120437U
授权日 :
2021-05-04
发明人 :
陈光宇
申请人 :
南京国科半导体有限公司
申请人地址 :
江苏省南京市浦口区桥林街道步月路29号12幢554室
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202021643109.4
主分类号 :
G01B11/06
IPC分类号 :
G01B11/06 G01N21/21 G01N21/01
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B11/06
用于计量厚度
法律状态
2021-05-04 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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