一种半导体检测用基于磁光效应的成像椭偏仪
授权
摘要
本实用新型公开了一种半导体检测用基于磁光效应的成像椭偏仪，包括机箱，所述机箱的顶部固定连接有成像椭偏仪本体，所述机箱的右侧固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出轴固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的表面套设有螺纹套，所述螺纹套的顶部固定连接有安装板。本实用新型通过驱动电机、螺纹杆、螺纹套、安装板、液压伸缩缸、转轮、连接杆、微型电机、传动机构和放置槽的配合，驱动电机的输出轴通过螺纹杆带动螺纹套左右移动，通过液压伸缩缸带动转轮上下移动，调节高度，微型电机的输出轴通过齿轮和圆形齿牙板带动转轮旋转，调节被测物体的角度，从而达到测量精准度高的效果，解决了现有装置测量精准度低的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体检测用基于磁光效应的成像椭偏仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021921283.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-07
授权号 ：
CN213209897U
授权日 ：
2021-05-14
发明人 ：
黎君玲张弓
申请人 ：
张弓
申请人地址 ：
广东省广州市越秀区建设大马路3号45栋
代理机构 ：
广州人才汇进知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
袁翔
优先权 ：
CN202021921283.0
主分类号 ：
G01N21/21
IPC分类号 ：
G01N21/21 G01B11/06 G01B11/24
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/17
入射光根据所测试的材料性质而改变的系统
G01N21/21
影响偏振的性质
法律状态
2021-05-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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