采用旋转补偿器积分采样的椭偏成像装置
避免重复授权放弃专利权
摘要
本实用新型涉及一种采用旋转补偿器和时间积分采样的椭偏成像装置。所述装置包括：入射单元；出射单元；数据采集处理单元；数据采集处理单元通过硬触发的方式来触发出射单元获得样品的椭偏图像。本实用新型利用时间积分方法进行采样大幅度提高了系统的时间分辨率，即减少了采样时间；采用匀速旋转相位补偿器达到了稳定的目的，能够保证操控精度。
基本信息
专利标题 ：
采用旋转补偿器积分采样的椭偏成像装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200820079483.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2008-03-19
授权号 ：
CN201177599Y
授权日 ：
2009-01-07
发明人 ：
孟永宏靳刚
申请人 ：
中国科学院力学研究所
申请人地址 ：
100080北京市海淀区北四环西路15号
代理机构 ：
北京中创阳光知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
尹振启
优先权 ：
CN200820079483.9
主分类号 ：
G01N21/21
IPC分类号 ：
G01N21/21 G01B11/06 G06T1/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/17
入射光根据所测试的材料性质而改变的系统
G01N21/21
影响偏振的性质
法律状态
2010-12-01 ：
避免重复授权放弃专利权
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101047790456
IPC(主分类) : G01N 21/21
专利号 : ZL2008200794839
申请日 : 20080319
授权公告日 : 20090107
放弃生效日 : 20080319
号牌文件序号 : 101047790456
IPC(主分类) : G01N 21/21
专利号 : ZL2008200794839
申请日 : 20080319
授权公告日 : 20090107
放弃生效日 : 20080319
2009-01-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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