一种椭偏仪装置及其检测方法
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摘要
本发明涉及一种椭偏仪装置及其检测方法，其中装置包括依次设置的：飞秒激光器、第一聚焦透镜、光纤、准直透镜、起偏器、第一半透半反镜、二维扫描振镜机构、扫描透镜和高数值孔径物镜；该装置还包括测量单元；其中，飞秒激光器产生激光经第一聚焦透镜耦合到光纤中；激光从光纤出射后由准直透镜进行准直并进入起偏器；起偏器出射的激光透过第一半透半反镜进入二维扫描振镜机构，改变传播方向后依次经过扫描透镜和高数值孔径物镜照射在待检测物品；反射的激光依次经过高数值孔径物镜、扫描透镜和二维扫描振镜机构之后由第一半透半反镜反射到测量单元，以确定椭偏参数。本发明能够测量不同反射角、方位角、温度、波长条件下样品的偏振反射特性。
基本信息
专利标题 ：
一种椭偏仪装置及其检测方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110702614A
申请号 ：
CN201911071769.1
公开（公告）日 ：
2020-01-17
申请日 ：
2019-11-05
授权号 ：
CN110702614B
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
修鹏郑崇徐文斌杨敏刘菁李军伟
申请人 ：
北京环境特性研究所
申请人地址 ：
北京市海淀区永定路50号
代理机构 ：
北京格允知识产权代理有限公司
代理人 ：
周娇娇
优先权 ：
CN201911071769.1
主分类号 ：
G01N21/21
IPC分类号 ：
G01N21/21 G01N21/01
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/17
入射光根据所测试的材料性质而改变的系统
G01N21/21
影响偏振的性质
法律状态
2022-04-12 ：
授权
2020-02-18 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 21/21
申请日 : 20191105
申请日 : 20191105
2020-01-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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