一种半导体检测用方便使用的椭偏仪
授权
摘要
本实用新型公开了一种半导体检测用方便使用的椭偏仪,包括横板,所述横板顶部的两侧均固定连接有第一壳体,所述横板的底部固定连接有第二壳体,所述横板顶部的两侧均通过轴承活动连接有螺纹杆,所述螺纹杆的表面螺纹连接有螺纹套,所述螺纹套相对的一侧固定连接有机体,所述螺纹杆的底部固定连接有第一链轮。本实用新型通过横板、第一壳体、第二壳体、螺纹杆、螺纹套、机体、第一链轮、限位杆、限位套、电机、第二链轮和限位块的配合,实现了拥有高度调节功能的目的,能够根据使用需求调节椭偏仪的使用高度,从而避免给使用者对椭偏仪进行使用带来麻烦,提高了使用者对椭偏仪的体验感,满足当今市场的需求。
基本信息
专利标题 :
一种半导体检测用方便使用的椭偏仪
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022283062.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-10-14
授权号 :
CN213422227U
授权日 :
2021-06-11
发明人 :
欧艳艳于国斌
申请人 :
于国斌
申请人地址 :
广东省广州市海珠区晓港中马路130号之十八
代理机构 :
广州人才汇进知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
袁翔
优先权 :
CN202022283062.1
主分类号 :
G01D11/30
IPC分类号 :
G01D11/30
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01D
非专用于特定变量的测量;不包含在其他单独小类中的测量两个或多个变量的装置;计费设备;非专用于特定变量的传输或转换装置;未列入其他类目的测量或测试
G01D11/00
非专用于特定变量的测量装置的组件
G01D11/30
专门适用于一台仪器的支架;专门适用于一组仪器的支架
法律状态
2021-06-11 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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