一种多级可调的椭偏测厚仪

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摘要

一种多级可调的椭偏测厚仪，包括底座、试验台、激光器套筒、激光器、起偏器和检偏器，底座上设置试验台，试验台的一端开设两道平行的滑槽，激光器套筒的下部为固定座，上部为圆柱套筒，激光器套筒的固定座两侧开设螺纹孔，激光器套筒通过螺钉连接在试验台的滑槽上，试验台与激光器套筒的固定座之间垫有橡胶垫圈，激光器固定在激光器套筒上部的圆柱套筒内，激光器的出光口设置有光栅，光栅的出光一侧设有补偿器，本实用新型的起偏器的入射角度可通过齿轮组合调节，检偏器通过可旋转的立板和顶板调节角度，使得检偏器不仅可以平行于起偏器，检测播磨边缘部分的厚度，还可以垂直于起偏器，反射式测量法检测播磨的情况。

基本信息

专利标题：

一种多级可调的椭偏测厚仪

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920864024.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-06-11

授权号：

CN210293125U

授权日：

2020-04-10

发明人：

李让峰

申请人：

天津良益科技股份有限公司

申请人地址：

天津市津南区滨海民营经济成长示范基地创意中心A座12B-117号

代理机构：

天津市新天方专利代理有限责任公司

代理人：

张强

优先权：

CN201920864024.X

主分类号：

G01B11/06

IPC分类号：

G01B11/06