一种椭偏测量装置
授权
摘要
本申请公开了一种椭偏测量装置，包括基板、样品台、检测部件、角度切换机构和角度定位机构；样品台固定安装在基板上，样品台台面为平面；角度切换机构转动安装在基板上，角度切换机构的转动轴线位于检测面内；检测部件包括起偏臂和检偏臂，起偏臂和检偏臂安装在角度切换机构上；角度定位机构安装在工作平台上，通过刚性抵触限位或自锁结构限定角度切换机构的转动角度。本申请的椭偏测量装置，无需再变换样品台或改变样品台方位，具有结构简单、操作简捷、重复定位精度高的优点，可实现多种类样品采用相同放置位置，降低测试过程中样品碎片风险，实现样品的任意点测试，提高测试效率。
基本信息
专利标题 ：
一种椭偏测量装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021272230.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-02
授权号 ：
CN212275564U
授权日 ：
2021-01-01
发明人 ：
朱宗洋杨良尹福钰
申请人 ：
北京量拓科技有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区北京经济技术开发区西环南路26号院30号楼4层402C
代理机构 ：
北京维正专利代理有限公司
代理人 ：
侯巍巍
优先权 ：
CN202021272230.0
主分类号 ：
G01N21/21
IPC分类号 ：
G01N21/21 G01N21/01
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/17
入射光根据所测试的材料性质而改变的系统
G01N21/21
影响偏振的性质
法律状态
2021-01-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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