本实用新型公开了一种半导体检测用椭偏仪，包括仪器主体，所述仪器主体的上端固定安装有撑板，所述撑板的前方两方固定安装有滑动扣，所述滑动扣等距排列于撑板的上端，所述撑板上方的右侧活动安装有载物台，所述载物台左侧的中部固定安装有制动器，所述制动器上端的中部固定安装有驱动器，所述驱动器的右侧固定安装有遮挡盖，所述遮挡盖右侧的中部活动安装有伸缩杆，所述制动器的右侧固定安装有阻隔器，所述阻隔器位于仪器主体的上端，所述制动器的前后两方固定安装有防干扰器。该半导体检测用椭偏仪，该半导体检测用椭偏仪采取了双重处理静电的措施，可以对干扰进行有效清除，并且该装置灵活性较高，操作简单。