一种半导体检测用椭偏仪
专利权的终止
摘要

本实用新型公开了一种半导体检测用椭偏仪,包括底座,所述底座的顶部固定连接有连接块,所述连接块的背面活动连接有支撑块,所述支撑块的底部与底座的顶部活动连接,所述支撑块正面的两侧分别设置有线性偏振器和偏振分析器,所述底座的顶部固定连接有位于连接块正面的电动伸缩杆,所述电动伸缩杆的顶端固定连接有台架。本实用新型通过设置电动伸缩杆、台架、第一电机、第一齿轮、第二齿轮和固定杆,能够带动固定板转动,通过设置第二电机和固定板,能够带动放置板转动,使椭偏仪便于使用,椭偏仪不需要手动在载物台上移动半导体,不易出现产品破碎,且半导体位置可调节,避免测量误差,有利于人们的使用。

基本信息
专利标题 :
一种半导体检测用椭偏仪
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020719488.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-05-06
授权号 :
CN212432965U
授权日 :
2021-01-29
发明人 :
郭冰冰
申请人 :
岳阳辉腾检测技术有限公司
申请人地址 :
湖南省岳阳市岳阳楼区花板桥路紫荆华庭A栋601室(花板桥社区)
代理机构 :
长沙明新专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
叶舟
优先权 :
CN202020719488.4
主分类号 :
G01N21/21
IPC分类号 :
G01N21/21  G01N21/01  G01J4/00  G01B11/06  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/17
入射光根据所测试的材料性质而改变的系统
G01N21/21
影响偏振的性质
法律状态
2022-04-12 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G01N 21/21
申请日 : 20200506
授权公告日 : 20210129
终止日期 : 20210506
2021-01-29 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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