本发明提供一种含带宽光谱的光谱处理方法，包括步骤：获取待测样件的椭偏光谱、反射光谱、入射光源的带宽以及光强分布节点数；基于光强分布节点数和入射光源的带宽对椭偏光谱和反射光谱做插值处理，得到新椭偏光谱和新反射光谱，并进一步得到新椭偏光谱向量；基于光强分布节点数获取光强分布节点的权重集，并根据权重集构造权重矩阵；基于权重矩阵获取权重逆矩阵；基于权重逆矩阵和新椭偏光谱向量获取无带宽椭偏光谱。本发明根据光源的带宽，利用反卷积法从包含带宽因素的实际测量光谱中计算出不含带宽因素的理想测量光谱，用理想测量光谱代替实际测量光谱进行分析，可有效避免物理模型中对带宽进行耗时的积分运算，可极大提高测量光谱分析效率。