本发明公开了一种定位误差校正的方法、装置及设备，用于对多个工作组协同工作产生的定位误差进行校正，实现多个工作组精密协同工作，提高工作效率。该方法包括：从误差补偿集合中获取与工作台上的工作点之间距离最近的多个网格点的误差补偿值，所述误差补偿集合包括多个工作组处于不同的网格点的误差补偿值，所述误差补偿值通过相机拍摄的多个工作组的标志点与标准板上的网格点的位置图像确定，所述标准板位于所述工作台上且覆盖所述工作台的工作区域；根据所述多个网格点的误差补偿值对移动到所述工作点的所述多个工作组的坐标进行校正。