本发明提供了一种校正工件台倾斜误差的方法及光刻装置，校正方法包括，将工件台沿同一方向移动若干次，使得校正标记在基底上产生若干个曝光场的曝光图像；对于每一个曝光场，根据曝光图像的特征和聚焦参数，得到在每个曝光位置的子倾斜误差；根据子倾斜误差和曝光位置，得到倾斜误差与工件台在移动方向的位置之间的对应关系式；并据此校正工件台。本发明提供的一种校正工件台倾斜误差的方法，能够方便地得出工件台运动过程中的倾斜偏差，提高了工件台定位的准确性。而且能够在曝光位没有调焦调平传感器时使用，且通过对准测量得到标记的垂向位置比调焦调平传感器测量垂向位置的重复性更好，校准精度更高，提高光刻机系统的精度。