GaN基双沟道HEMT器件
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种GaN基双沟道HEMT器件,其包括外延结构,该外延结构包括沿设定方向依次设置的第一、第二、第三半导体层,该第一、第二、第三半导体层的禁带宽度依次增大,该第一、第三半导体层中的任一者与第二半导体层的界面处均形成有二维电子气,并且组成该第二、第三半导体层的半导体材料具有相同晶格常数;该外延结构还与源、漏、栅极配合。本发明提供的GaN基双沟道HEMT器件因具有双沟道层、双势垒层结构,有效提高了二维电子气的面密度,从而大幅提高了HEMT器件的输出电流和输出功率密度,进一步的,通过使第二、第三半导体层的组成材料具有相同的晶格常数,还有效降低了器件外延结构内部的位错密度和应力,提高了器件的工作稳定性和可靠性。

基本信息
专利标题 :
GaN基双沟道HEMT器件
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114497207A
申请号 :
CN202011264376.5
公开(公告)日 :
2022-05-13
申请日 :
2020-11-12
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
郭炜叶继春戴贻钧
申请人 :
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
申请人地址 :
浙江省宁波市镇海区庄市大道519号
代理机构 :
南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
王锋
优先权 :
CN202011264376.5
主分类号 :
H01L29/778
IPC分类号 :
H01L29/778  H01L29/205  
法律状态
2022-05-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 29/778
申请日 : 20201112
2022-05-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332