三种工作模式的低温兼容压电纳米位移台
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摘要

一种压电纳米位移台,包括水平位移台、z方向位移管、连接零件和样品盘;其中:水平位移台,包括两个压电陶瓷堆、电容传感器和机械放大结构,两个水平位移台通过中间连接板连接,从而具备水平x、y两个方向的扫描能力;z方向位移管,包括压电陶瓷管、绝缘管、升降柱、弯曲弹簧片和蓝宝石片,用于实现所述升降柱的步进上升和步进下降;连接零件,包括绝缘连接器、水平位移台连接器和位移台外壳,用于组装连接z方向位移管和水平位移台;样品盘,包括上样品盘、中样品盘、下样品盘、半球蓝宝石珠、样品盘弹簧片和受压平台;通过这些结构部分的相互连接及相互配合实现样品盘沿z方向的步进上升与步进下降。

基本信息
专利标题 :
三种工作模式的低温兼容压电纳米位移台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112436753A
申请号 :
CN202011282167.3
公开(公告)日 :
2021-03-02
申请日 :
2020-11-16
授权号 :
CN112436753B
授权日 :
2022-04-19
发明人 :
程光磊蔡方煦黄成园王浩远杜江峰
申请人 :
中国科学技术大学
申请人地址 :
安徽省合肥市包河区金寨路96号
代理机构 :
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 :
孙蕾
优先权 :
CN202011282167.3
主分类号 :
H02N2/00
IPC分类号 :
H02N2/00  H02N2/02  H02N2/04  H02N2/06  
法律状态
2022-04-19 :
授权
2021-03-19 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H02N 2/00
申请日 : 20201116
2021-03-02 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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