一种压电位移装置
公开
摘要

本发明公开了一种压电位移装置;其包括至少两个组合叠堆,组合叠堆分为至少两个叠堆组,其中,每个叠堆组包括至少两个组合叠堆,组合叠堆含三个运动方向;组合叠堆与预紧装置装配在动子框架上作为动子,在尺蠖式运动方式下,通过交替致动在定子基座上运动并提供高精度定位。本发明能够不依赖导轨、柔性机构等结构,在X‑Y平面内提供二维大行程致动,解决了常规压电位移装置多轴输出行程有限的问题,符合现阶段超精密运动控制的需求。本发明对精密设备市场具有显著的发展意义。

基本信息
专利标题 :
一种压电位移装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114598180A
申请号 :
CN202210187638.5
公开(公告)日 :
2022-06-07
申请日 :
2022-02-28
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
丁晨阳杨奕潇徐云浪康华洲郭亮
申请人 :
复旦大学
申请人地址 :
上海市杨浦区邯郸路220号
代理机构 :
上海正旦专利代理有限公司
代理人 :
王洁平
优先权 :
CN202210187638.5
主分类号 :
H02N2/02
IPC分类号 :
H02N2/02  H02N2/04  H02N2/06  
法律状态
2022-06-07 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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