基于电解液约束的超声辅助电化学微纳加工方法
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摘要

本发明属于金属微纳加工领域,涉及一种基于电解液约束的超声辅助电化学微纳加工方法。本发明电化学微纳加工方法包含若干周期,每个周期内分为两个工作节拍:电解液约束电解加工和超声辅助振动,其中电解液约束电解加工过程采用充满电解液的微纳米移液管与工件之间构造微纳液滴连接,将电解反应约束在微液滴范围内进行微坑加工。而超声辅助振动过程则在工件表面进行定向超声,对微坑内的电解液进行超声雾化来带走微量电解产物。在加工过程中,两个工作节拍独立工作和脉动切换,在电解加工的同时能够及时清除电解产物,从而提高微纳尺度的电解加工精度与质量,并通过设定电解加工路径在金属表面制备获得高精度、高质量的微纳尺度坑/槽结构。

基本信息
专利标题 :
基于电解液约束的超声辅助电化学微纳加工方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112658412A
申请号 :
CN202011295081.4
公开(公告)日 :
2021-04-16
申请日 :
2020-11-18
授权号 :
CN112658412B
授权日 :
2022-04-22
发明人 :
沈春健朱荻朱增伟
申请人 :
南京航空航天大学
申请人地址 :
江苏省南京市秦淮区御道街29号
代理机构 :
江苏圣典律师事务所
代理人 :
韩天宇
优先权 :
CN202011295081.4
主分类号 :
B23H3/00
IPC分类号 :
B23H3/00  B23H7/38  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B23
机床;其他类目中不包括的金属加工
B23H
用电极代替刀具,以电流高度集中的作用在工件上的金属加工;这种加工与其他方式的金属加工的组合
B23H3/00
电化加工,即在电解液中,在电极和工件之间通过电流除掉金属
法律状态
2022-04-22 :
授权
2021-05-04 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B23H 3/00
申请日 : 20201118
2021-04-16 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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