本实用新型公开了用于柔性微纳器件结构加工的设备。本实用新型包括成型腔体装置和离心装置。成型腔体装置包括固定连接的下层成型结构和上层成型结构，材料为硬质玻璃板材。下层成型结构的本体平面中心位置开有圆形凹槽,上层成型结构的本体平面上开有通槽。下层成型结构的圆形凹槽与上层本体底面配合，形成柔性材料填充腔；上层成型结构的通槽与下层本体顶面配合，形成柔性材料注入通道；柔性材料填充腔通过柔性材料注入通道与成型腔体装置外空间相通。离心装置包括离心箱和离心电机，离心箱为温度可控的密闭箱体。本实用新型具有制备速度快，加工精度高，加工成本低，使用范围广等特点。