一种真空计快速动态真空校准方法
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摘要

本发明公开了一种真空计快速动态真空校准方法,首先抽取校准装置内的气压至本底压力,打开被校准真空计和压力计;然后,向稳压室充入获取的多种校准气体中的任一种气体,直至达到气压阈值且稳定;接着,采用二级膨胀静态检测方法,多次采集所述被校准真空计的读数,以及采集校准室和第一膨胀室的温度,并且对二级膨胀过程中的气流状态进行划分,并分别采用纳维‑斯托克斯方程和蒙特卡洛法对两次膨胀过程建立对应的流导模型;循环抽放气体进行校准,直至多种所述校准气体全部校准完成,结合所述校准室温度和所述被校准真空计读数,以及对应的流导系数对所述被校准真空计进行修正,降低校准结果误差。

基本信息
专利标题 :
一种真空计快速动态真空校准方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112461446A
申请号 :
CN202011322918.X
公开(公告)日 :
2021-03-09
申请日 :
2020-11-23
授权号 :
CN112461446B
授权日 :
2022-04-19
发明人 :
杨柏豪王殿磊刘志超李兴洋刘增启刘唐兴
申请人 :
阿米检测技术有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市惠山区长安街道惠成路9号
代理机构 :
北京挺立专利事务所(普通合伙)
代理人 :
蔡宗慧
优先权 :
CN202011322918.X
主分类号 :
G01L27/00
IPC分类号 :
G01L27/00  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L27/00
用于测量流体压力的仪表的检测或校准
法律状态
2022-04-19 :
授权
2021-03-26 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01L 27/00
申请日 : 20201123
2021-03-09 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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