透射窗以及退火装置
公开
摘要
本发明提供的一种透射窗以及退火装置，涉及半导体技术领域，包括：窗本体，所述窗本体为板状，所述窗本体上均匀设置有多个透射区域；其中，至少所述透射区域的内侧面为凹面结构。在上述技术方案中，透射窗上划分出了多个透射区域，且将每个透射区域的结构均制造成凹面结构，当垂直透射的光线经过该透射区域以后，折射为分散的光线，从而能够使垂直光线经过凹面镜以后，在另一侧更加分散的透射出来，进而消除因烘烤灯排布所形成的间距，使烘烤灯经过透射窗透射至晶圆上时，可以对晶圆形成均匀的烘烤，不会造成间距位置无法烘烤的问题。
基本信息
专利标题 ：
透射窗以及退火装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114563837A
申请号 ：
CN202011364143.2
公开（公告）日 ：
2022-05-31
申请日 ：
2020-11-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
朴兴雨李河圣朱宁炳熊文娟蒋浩杰崔恒玮李亭亭
申请人 ：
中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请人地址 ：
北京市朝阳区北土城西路3号
代理机构 ：
北京辰权知识产权代理有限公司
代理人 ：
金铭
优先权 ：
CN202011364143.2
主分类号 ：
G02B5/00
IPC分类号 ：
G02B5/00 H05B3/00 H01L21/67
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B5/00
除透镜外的光学元件
法律状态
2022-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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