一种复合电流密度的测试方法及装置
公开
摘要
本发明实施例公开了一种复合电流密度测试方法及装置，该测试方法通过未设置金属结构的校准样品在校准光下的非平衡载流子的注入量、少子寿命以及发射光强，确定非平衡载流子的注入量与述发射光强之间的第一系数以及少子寿命与非平衡载流子的注入量和校准光强之间的第二系数，并在获取到测试样品在不同照射光下的发射光强后，能够结合第一系数，确定测试样品的非平衡载流子的注入量，然后结合第二系数，确定测试样品的少子寿命，最后根据测试样品的非平衡载流子的注入量和少子寿命经拟合计算确定测试样品的复合电流密度。本发明实施例能够简化具有金属结构的过程片的复合电流密度的测试过程，节省人力成本，提高测试效率。
基本信息
专利标题 ：
一种复合电流密度的测试方法及装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114624501A
申请号 ：
CN202011458625.4
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2020-12-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
万松博
申请人 ：
嘉兴阿特斯技术研究院有限公司
申请人地址 ：
浙江省嘉兴市秀洲区高照街道康和路325号1号楼、2号楼
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
孟金喆
优先权 ：
CN202011458625.4
主分类号 ：
G01R19/08
IPC分类号 ：
G01R19/08 G01R31/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R19/00
用于测量电流或电压或者用于指示其存在或符号的装置
G01R19/08
电流密度的测量
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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