盖板承载装置、盖板清洗装置和盖板的清洗方法

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摘要

本发明公开了一种盖板承载装置、盖板清洗装置和盖板的清洗方法，盖板承载装置包括本体和设置于本体的气体通道，其中，本体包括两个沿第一方向分立的侧壁，与侧壁连接的底壁和由侧壁与底壁围合形成的容纳腔，容纳腔与曲面盖板的形状相匹配；气体通道的出气口设置于侧壁，气体通道用于向侧壁背离底壁的一侧吹出具有预设角度的气体，以阻挡流动体对曲面盖板的功能涂层的侵蚀。该盖板承载装置可防止位于曲面盖板朝向容纳腔一侧的表面受到流动体的破坏，从而可以保护曲面盖板以避免其性能受损、提高曲面盖板的良率。

基本信息

专利标题：

盖板承载装置、盖板清洗装置和盖板的清洗方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN112620254A

申请号：

CN202011473481.X

公开（公告）日：

2021-04-09

申请日：

2020-12-15

授权号：

CN112620254B

授权日：

2022-05-24

发明人：

高广滨

申请人：

霸州市云谷电子科技有限公司

申请人地址：

河北省廊坊市霸州市经济开发区电子信息产业园泰山路东

代理机构：

北京东方亿思知识产权代理有限责任公司

代理人：

娜拉

优先权：

CN202011473481.X

主分类号：

B08B7/00

IPC分类号：

B08B7/00