半导体温控装置输出量的控制方法及装置

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摘要

本发明提供一种半导体温控装置输出量的控制方法及装置，包括：将预设温度到达时间分解为多个相等的周期；基于上个周期运行速度的实际瞬时值和上个周期给定输出量修正当前周期的给定输出量。本发明提供的一种半导体温控装置输出量的控制方法及装置，根据升降温时间来控制系统输出量大小，适配不同的系统特性，满足加热系统和制冷系统升降温时间符合要求，对应不同的温度区间设定不同的需要升降温时间，满足整体设备的升降温曲线与主工艺设备标定曲线一致。

基本信息

专利标题：

半导体温控装置输出量的控制方法及装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN112596557A

申请号：

CN202011511762.X

公开（公告）日：

2021-04-02

申请日：

2020-12-18

授权号：

CN112596557B

授权日：

2022-05-24

发明人：

常鑫冯涛宋朝阳李文博董春辉芮守祯何茂栋曹小康

申请人：

北京京仪自动化装备技术有限公司

申请人地址：

北京市大兴区经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座3层

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司

代理人：

陈新生

优先权：

CN202011511762.X

主分类号：

G05D23/20

IPC分类号：

G05D23/20