一种超近距离金属电极热调相移器
授权
摘要
本发明属于集成光波导调制领域，具体涉及一种超近距离金属电极热调相移器，包括：基底，以及分别设置在基底上的金属热电极和光波导；其中，金属热电极和光波导之间近距离设置，该距离小于600nm；金属热电极的材料为钛、氮化钛、铝、金和/或折射率虚部更大的金属。包括侧向加热和顶面加热两种方案，侧向加热方案中热电极被近距离平行放置在波导侧面，热量通过基底传导至光波导上实现热相移；顶面加热方案中，一根辅助波导置在光波导侧面，热电极置于辅助波导上方，热量通过基底的顶层传导至光波导上实现热相移。本发明利用宇称‑时间对称原理，大幅度缩短了热电极与波导之间的距离，实现了低损耗高速率的热调，而且与CMOS工艺兼容，为标准工艺。
基本信息
专利标题 ：
一种超近距离金属电极热调相移器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112462534A
申请号 ：
CN202011517297.0
公开（公告）日 ：
2021-03-09
申请日 ：
2020-12-21
授权号 ：
CN112462534B
授权日 ：
2022-04-29
发明人 ：
董建绩韦彦先周海龙张新亮
申请人 ：
华中科技大学
申请人地址 ：
湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
代理机构 ：
华中科技大学专利中心
代理人 ：
尹丽媛
优先权 ：
CN202011517297.0
主分类号 ：
G02F1/00
IPC分类号 ：
G02F1/00 G02F1/01
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02F
用于控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如转换、选通、调制或解调，上述器件或装置的光学操作是通过改变器件或装置的介质的光学性质来修改的；用于上述操作的技术或工艺；变频；非线性光学；光学逻辑元件；光学模拟/数字转换器
G02F1/00
控制来自独立光源的光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如，转换、选通或调制；非线性光学
法律状态
2022-04-29 ：
授权
2021-03-26 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02F 1/00
申请日 : 20201221
申请日 : 20201221
2021-03-09 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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