一种TiO2/PS胶体光子晶体及其...
授权
摘要
本发明公开了一种TiO2/PS胶体光子晶体及其制备方法和在湿度传感器中的应用，TiO2/PS胶体光子晶体包括PS单层微球膜和沉积于其上表面的TiO2薄膜，所述PS单层微球膜中微球直径为610~690nm，所述TiO2/PS胶体光子晶体呈周期性六角球壳阵列排布；通过微流注射法、反应离子刻蚀、磁控溅射相结合，在单层PS微球膜上沉积TiO2薄膜，形成尺寸可控的TiO2/PS胶体光子晶体；TiO2/PS胶体光子晶体结合TiO2的湿敏特性以及TiO2/PS胶体光子晶体的光学特征和周期性球壳阵列结构特性，将其应用于光学湿度传感器，将反射峰位置偏移与相对湿度相关联进行湿度检测。
基本信息
专利标题 ：
一种TiO2/PS胶体光子晶体及其制备方法和在湿度传感器中的应用
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112760707A
申请号 ：
CN202011524207.0
公开（公告）日 ：
2021-05-07
申请日 ：
2020-12-22
授权号 ：
CN112760707B
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
王鸣邓亚利李梅郝辉夏巍郭冬梅
申请人 ：
南京师范大学
申请人地址 ：
江苏省南京市鼓楼区宁海路122号
代理机构 ：
南京经纬专利商标代理有限公司
代理人 ：
曹翠珍
优先权 ：
CN202011524207.0
主分类号 ：
C30B25/06
IPC分类号 ：
C30B25/06 C30B25/18 C30B29/58 G01N21/25 G01N21/41 G01N21/47
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B25/00
反应气体化学反应法的单晶生长，例如化学气相沉积生长
C30B25/02
外延层生长
C30B25/06
反应溅射法的
法律状态
2022-06-07 ：
授权
2021-05-25 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C30B 25/06
申请日 : 20201222
申请日 : 20201222
2021-05-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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