本发明提供了一种高频元件加工尺寸的精度预测方法及系统，属于高频元件加工质量的预测技术领域；精度预测方法包括：将加工参数和切削力的特征值输入至精度预测神经网络，获取高频元件的质量等级；训练精度预测神经网络的方法为：按照不同的尺寸精度值，将高频元件划分为不同的质量等级；将切削力数据按照不同的加工特征分段，采用特征提取方法计算切削力的特征值；将加工参数和切削力的特征值归一化预处理，作为数据样本集；训练精度预测神经网络，获取精度预测神经网络；其中，精度预测神经网络为RBF神经网络模型与DNN神经网络模型的结合。本发明采用精度预测神经网络可以更为便捷，更为准确地获取加工尺寸的预测精度。