一种基于亚波长光栅的LNOI模斑转换器和制备方法
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摘要
本发明公开了一种基于亚波长光栅的LNOI模斑转换器，包括：顶层锥形波导、底层锥形波导、锥形亚波长光栅、SiO2倒锥形厚脊波导包层、SiN亚波长光栅薄层和光纤固定槽；制备方法涉及的工艺包括：顶层锥形波导和底层锥形波导制备、锥形亚波长光栅制备、SiO2倒锥形厚脊波导制备、SiN亚波长光栅制备、光纤固定槽制备。本发明采用双层锥形波导结合锥形亚波长光栅、SiN亚波长光栅和SiO2倒锥形厚脊波导的结构，通过调节波导芯层以及包层的有效折射率，实现LNOI光波导中小尺寸光模场的放大功能，进而提高LNOI光波导与单模光纤的耦合效率。
基本信息
专利标题 ：
一种基于亚波长光栅的LNOI模斑转换器和制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112782805A
申请号 ：
CN202011603932.7
公开（公告）日 ：
2021-05-11
申请日 ：
2020-12-30
授权号 ：
CN112782805B
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
周奉杰钱广顾晓文唐杰孔月婵
申请人 ：
中国电子科技集团公司第五十五研究所
申请人地址 ：
江苏省南京市秦淮区中山东路524号
代理机构 ：
南京经纬专利商标代理有限公司
代理人 ：
施昊
优先权 ：
CN202011603932.7
主分类号 ：
G02B6/124
IPC分类号 ：
G02B6/124 G02B6/14 G02B6/136 G02B6/30
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B6/00
光导；包含光导和其他光学元件的装置的结构零部件
G02B6/10
光波导式的
G02B6/12
集成光路类型
G02B6/122
基本光学元件，例如，传导光的光路
G02B6/124
短程透镜或集成光栅
法律状态
2022-05-13 ：
授权
2021-05-28 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 6/124
申请日 : 20201230
申请日 : 20201230
2021-05-11 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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