10-14微米中心波长可调的多层对称二维透射光栅及其制备...
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摘要

本发明公开了一种10‑14微米中心波长可调的多层对称二维透射光栅及其制备方法,解决了在长波红外波段的FP腔滤光片因膜系复杂为加工带来的误差。本发明包括:光栅层、基底层和对称高反层;所述对称高反层自上而下共计8层,基底层为对称高反层的最底下一层;所述对称高反层通过金属材料和介质材料的交替设置;所述金属材料为高折射率材料锗,所述介质材料为低折射率材料氟化钇;所述光栅层采用高折射率材料锗,对称高反层中,所述折射率材料锗与低折射率材料氟化钇交替设置且高反层的厚度为四分之一波长;所述基底层的材料为锗;所述光栅层位于高反层中自上而下排布的第四层和第五层之间。

基本信息
专利标题 :
10-14微米中心波长可调的多层对称二维透射光栅及其制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112014915A
申请号 :
CN201910462848.9
公开(公告)日 :
2020-12-01
申请日 :
2019-05-30
授权号 :
CN112014915B
授权日 :
2022-04-01
发明人 :
赵永强刘芯羽汤超龙
申请人 :
西北工业大学深圳研究院
申请人地址 :
广东省深圳市南山区高新南九道45号西北工业大学深圳三航科技大厦25层
代理机构 :
西安佳士成专利代理事务所合伙企业(普通合伙)
代理人 :
李东京
优先权 :
CN201910462848.9
主分类号 :
G02B5/18
IPC分类号 :
G02B5/18  G02B5/20  
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B5/00
除透镜外的光学元件
G02B5/18
衍射光栅
法律状态
2022-04-01 :
授权
2020-12-18 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 5/18
申请日 : 20190530
2020-12-01 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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