透射式金属光栅及其制作方法
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
一种透射式金属光栅，包括金属基板、金属基板上下表面的光栅亮条纹和金属基板上的暗条纹，光栅亮条纹为金属基板上的缝隙，其透光率为100％，暗条纹为金属基板本身，不透光；金属基板为不锈钢、铜、铝的薄片或金属尺；透射式金属光栅的制造方法是：先对金属基板表面进行清洗，然后在基板上下两面涂上均匀厚度的光刻胶，前烘去除光刻胶中的稀释剂后，将基片上放置在两相同光栅母板间上下对准并进行曝光，再用显影液显影，烘烤坚膜后在FeCl3腐蚀液中腐蚀，最后去胶清洁基片表面。本发明具有重量轻、对比度好、线条稳定性好且抗冲击性、抗腐蚀性、抗辐射性好的优点。
基本信息
专利标题 ：
透射式金属光栅及其制作方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1790067A
申请号 ：
CN200510130716.4
公开（公告）日 ：
2006-06-21
申请日 ：
2005-12-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
周翠花李代学梁跃兵
申请人 ：
中国科学院光电技术研究所
申请人地址 ：
610209四川省成都市双流350信箱
代理机构 ：
北京科迪生专利代理有限责任公司
代理人 ：
刘秀娟
优先权 ：
CN200510130716.4
主分类号 ：
G02B5/18
IPC分类号 ：
G02B5/18 G03F7/20 G03F7/26
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B5/00
除透镜外的光学元件
G02B5/18
衍射光栅
法律状态
2009-09-23 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2008-03-05 ：
实质审查的生效
2006-06-21 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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